본 기술은 3차원 레이저 리소그래피로 폴리머 몰드를 제작한 뒤, 도금법 또는 담금법을 통해 자성 금속 입자가 포함된 비폴리머 재료를 주입 및 소결하여 마이크로로봇의 기구부 전체를 자성 금속으로 성형하는 기술입니다.
기존 광경화성 폴리머 기반의 마이크로로봇은 자성체 증착 시 불균일한 자화 분포가 발생하고, 자성 입자를 혼합할 경우 레이저 투과율 저하 및 제작 정밀도 하락과 구조적 강성 부족 문제가 발생합니다.
본 기술은 3차원 레이저 리소그래피로 고정밀 몰드를 먼저 제작하고, 비폴리머 재료(자성체 포함)를 몰드 내부에 주입 및 소결함으로써 구조체 전체를 금속화하여 균일한 자화세기와 높은 강성을 확보합니다. 산업용 로봇과 자동화 시스템에 적용될 수 있어 3D 마이크로로봇의 강성을 향상시키고 자기장에서 더 나은 제어를 위해 자화의 강도를 향상시킵니다.
본 발명은 미래창조과학부의 3차원 정밀 마이크로 구조체 개발 및 세포/약물 전달 기반 기술개발 지원을 통해 개발되었습니다.
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