주사 탐침 현미경 및 회전 테이블 모듈

2단 XY 테이블과 회전 테이블 기반 시료 정렬형 주사 탐침 현미경

본 기술은 시료를 지지하는 테이블 유닛, 탐침, 레이저 광원, 위치 검출기를 갖춘 주사 탐침 현미경에서, 테이블 유닛을 XY 방향으로 각각 움직이는 제1·제2 테이블과 풀리로 회전하는 회전 테이블의 중첩 구조로 구성한 것입니다. 각 테이블의 관통홀이 Z축으로 일렬 정렬되어 시료를 투과한 광을 하부 광 검출기로 받을 수 있습니다.

원자간력 현미경을 비롯한 주사 탐침 현미경은 나노 스케일 관찰에 널리 쓰이지만, 캔틸레버의 휘어짐을 레이저로 측정하는 구조 특성상 시료를 관찰에 적합한 위치와 방향으로 정밀하게 정렬하기 어려운 문제가 있었습니다. 시료의 위치 이동과 회전을 함께 조정하면서 투과광 측정까지 병행할 수 있는 테이블 구성이 부족한 한계가 존재했습니다.

본 기술은 2단 XY 테이블로 시료를 거친 이동과 미세 이동으로 나누어 정렬하고, 회전 테이블로 시료 방향을 바꿀 수 있어 원하는 관찰 위치와 각도를 효과적으로 맞춥니다. 테이블 중앙의 투과홀과 안내홀이 일렬로 정렬되어 표면 형상 측정과 함께 하부 광 검출기로 투과광 신호를 얻을 수 있습니다. 이 기술은 나노소재 분석, 반도체 표면 검사, 생체 시료 관찰용 원자간력 현미경 장비에 적용될 수 있어 시료 재장착 없이 위치와 방향을 바꿔가며 광학 측정을 병행하는 분석 환경을 제공합니다.

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Key Features:

• 관찰 대상 시료를 지지하는 테이블 유닛, 그 위쪽의 탐침, 탐침에 레이저를 조사하는 광원, 반사 레이저를 검출하는 위치 검출기를 포함하는 주사 탐침 현미경
• 블록 구조로 제공되어 각각 Z축 관통 안내홀을 갖고 별도의 테이블 구동기에 의해 X축 및 Y축 방향으로 직선 이동하는 제1 테이블과 제2 테이블
• 중앙에 Z축 관통 투과홀이 형성된 회전 테이블과 그 일측의 풀리 및 풀리 회전력을 회전 테이블에 전달하는 연결 부재
• Z축 방향으로 일렬 정렬된 투과홀과 안내홀들을 통과한 광이 입사되도록 제1 안내홀 하부에 위치하는 광 검출기

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