본 기술은 3D 수직 적층 메모리 소자의 층간 절연막을 고체 전해질 기반 이차전지로 대체하여, 같은 소자 부피 안에서 정보 저장과 에너지 저장을 동시에 수행하도록 구성한 하이브리드 구조입니다.
기존 3D 수직 메모리 구조에서는 메모리 셀 간 간섭을 막기 위해 절연막을 반드시 넣어야 했지만, 이 절연막은 보호 기능 외에는 아무 역할도 하지 못하는 문제가 있었습니다. 결과적으로 소자 내 공간을 비효율적으로 점유하는 한계가 존재했습니다.
본 기술은 절연막 구조 안에 a-Si 애노드와 LiCoO2 캐소드를 배치해 고체 배터리 기능을 부여하고, 이를 ReRAM 등 수직 적층 메모리와 결합하여 소자 내부 공간을 에너지 저장 영역으로 활용하도록 구성됩니다. 전원 공급이 제한적인 IoT 센서 노드, 체내 삽입형 의료기기, 초소형 웨어러블 칩 등에 적용될 수 있어 별도 배터리 없이 데이터 보존과 자가 전력 공급을 하나의 칩에서 해결하는 설계가 가능해집니다.
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