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IBL-26-1258

잔류용매 증발 조절을 통한 폴리사이오펜 박막의 초음파처리-매개 자기조립 방법

등록일
2026-10-28
대기 중 단시간 초음파 처리로 공액 길이를 늘린 유기반도체 박막

본 기술은 스핀코팅 직후 젖은 상태의 폴리사이오펜 박막에 별도 용매 증기 없이 60~180초 동안 초음파를 가해 잔류용매 증발을 촉진하고 건조하는 자기조립 방법입니다. 초음파 처리 시간이 길어질수록 박막의 공액 길이가 증가하도록 설계되어 있습니다.

공액 고분자 박막의 분자 정렬을 높이려면 용액 결정화 단계에서 비용매 첨가량과 에이징 시간을 정밀하게 맞춰야 했고, 실패하면 결함이 있는 불균일 박막이 형성되는 문제가 있었습니다. 초음파 조사가 고분자 정렬을 돕는다는 점은 알려졌으나 이미 형성된 박막 상태에 미치는 영향은 체계적으로 연구되지 않은 한계가 존재했습니다.

본 기술은 용매 증기 설비 없이 상압 대기 조건에서 처리 시간만으로 잔류용매 증발 속도와 공액 길이를 제어하고, 필요 시 100℃ 열 어닐링을 더해 기판 부착력을 높입니다. 유기 박막 트랜지스터와 저가형 플렉서블 디스플레이 백플레인 제조 라인에 적용될 수 있어 밀봉 챔버 같은 추가 장비 없이 기존 스핀코팅 공정에 초음파 단계만 덧붙여 소자 성능을 개선할 수 있습니다.

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Key Features:
  • 폴리(3-헥실사이오펜)을 클로로벤젠에 녹인 용액을 기판 위에 스핀코팅하여 젖은 상태의 박막을 만드는 단계
  • 기판 위에 형성된 젖은 상태의 폴리사이오펜 박막을 60~180초 동안 42 kHz 주파수로 초음파 처리하는 단계
  • 초음파 처리로 잔류용매의 증발 속도를 높이고 처리 시간이 늘어날수록 폴리사이오펜 박막의 공액 길이가 증가하는 구성
  • 건조된 폴리사이오펜 박막을 100℃에서 30분 동안 열적 어닐링하여 기판과의 부착력을 증가시키는 단계

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인천대학교
박영돈 | 김혜수
문서
출원일:
2018-07-30
|
특허등록번호:
10-1990740
산업
반도체•장비
디스플레이
기술
반도체
국가
Korea
패밀리 특허

N/A

제시 가격
정액가
6000000
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