본 기술은 바디 프레임에 장착된 복수의 그리퍼를 공압 실린더 및 피스톤 로드를 이용하여 직선 방향으로 동시 이동시켜 기판의 내부 공간을 다방향에서 물리적으로 파지하는 기구적 메커니즘입니다.
기판 이송 시 정밀한 정렬이 어렵고, 파지 영역이 제한적이며, 파지 과정에서 부품의 물리적 손상 위험이 존재합니다.
본 기술은 바디 프레임의 각 측부에 배치된 그리퍼들이 구동부(피스톤 로드)에 의해 상하좌우(제1~제4 방향)로 직선 이동하며, 그리퍼 내의 롤러와 탄성체를 통해 기판을 유연하게 수용하고 고정하는 구조를 채택합니다. 반도체·디스플레이 이송과 제조 자동화에 적용될 수 있어 기판을 다방향에서 파지해 정렬 정확도를 높이고 손상 위험을 줄입니다.
본 발명은 산업통상자원부의 모바일 IT 제품의 소형.정밀 부품조립을 위한 공정기술, 그리퍼 및 조립 기술 개발 지원을 통해 개발되었습니다.
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