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IBL-26-0637

폴리사이오펜 박막의 분자결정성 향상 방법

등록일
2026-10-28
저온 에이징 전구체 용액을 이용한 고결정성 폴리사이오펜 반도체층 형성법

본 기술은 P3HT를 클로로포름에 녹인 전구체 용액을 -10℃로 냉각해 짧게 에이징한 뒤 그대로 스핀 코팅하여, 박막이 만들어지기 전 용액 단계에서 이미 분자 정렬을 완성하는 기술입니다. 이렇게 얻은 박막을 전계효과 트랜지스터의 반도체층으로 사용합니다.

스핀 코팅은 용매가 빠르게 증발해 정렬 구조가 자랄 시간이 없어 비정질에 가까운 박막이 만들어지는 문제가 있었습니다. 이를 보완하려면 열적 또는 용매 어닐링 같은 별도 후처리를 거쳐야 해 공정이 복잡하고 비효율적인 한계가 존재했습니다.

본 기술은 P3HT의 온도 의존적 용해도를 이용해 저온에서 용액 속 사슬이 스스로 결정체를 이루도록 하므로, 코팅 한 번으로 고결정성 박막이 완성되고 후처리 단계가 사라집니다. 25~31 nm의 얇은 박막으로도 트랜지스터 평균 전계효과 이동도 4.0×10^-2 cm2/Vs를 얻습니다. 인쇄형 유기 전자소자의 대면적 양산 공정에 적용될 수 있어 공정 단계를 줄이면서도 이동도를 한 자릿수 이상 끌어올릴 수 있습니다.

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Key Features:
  • P3HT를 실온에서 정용매인 클로로포름에 완전 용해시켜 전구체 용액을 제조하는 단계
  • 전구체 용액을 -10℃로 냉각하고 같은 온도에서 120초 동안 에이징하여 저온 전처리된 용액을 얻는 단계
  • 전처리된 저온 용액을 기판 위에 스핀 코팅하여 25 내지 31 nm 두께의 분자결정성이 향상된 박막을 형성하는 단계
  • 저온 에이징 공정으로 형성한 폴리사이오펜 박막을 포함하고 평균 전계효과 이동도가 4.0×10^-2 cm2/Vs인 전계효과 트랜지스터

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본 발명은 미래창조과학부의 π-전자분자의 자기조립을 이용한 고성능 유기전자소자의 개발 지원을 통해 개발되었습니다.

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인천대학교
김신애 | 이화성 | 이위형 | 박영돈
문서
출원일:
2014-07-11
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특허등록번호:
10-1592733
산업
반도체•장비
기술
반도체
신소재•재료
국가
Korea
패밀리 특허

N/A

제시 가격
정액가
4000000
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