본 기술은 물을 작동유체로 사용하여 진공 상태의 기화작용으로 냉각용 수증기를 생성하는 냉열생성모듈과 열교환모듈, 액화응축모듈, 반도체 폐열을 포집하는 열공급모듈 및 이를 통합 제어하는 제어모듈로 구성된 진공냉각시스템입니다.
인공지능 데이터센터 등 고발열 반도체 설비의 기존 냉각 방식은 전력 소비가 크고 냉매 사용에 따른 환경 오염을 유발하는 문제점이 있었습니다.
본 기술은 반도체에서 발생하는 열에너지를 포집해 기화 열원으로 재활용하고 물만을 작동유체로 사용하는 순환 구조를 제안하며, 진공 압력과 목표 온도 등 제어 파라미터를 기반으로 각 모듈을 통합 제어합니다. 인공지능 데이터센터와 반도체 생산 설비의 냉각에 적용될 수 있어 별도 냉매 없이 폐열만으로 냉방을 구현하여 에너지 비용과 탄소 배출을 함께 절감합니다.
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