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IBL-26-0087

나노부유구조의 다중센서 및 그 제조방법

등록일
2026-03-24
감도향상 감지시간 단축 다중센서

본 기술은 나노부유구조의 다중센서에 관한 것으로, 다중 감지 능력 및 감도 특성을 향상시킬 수 있는 나노부유구조의 다중센서 및 방법에 관한 것입니다.

전기화학 센서는 실시간 화학물질 감별 및 질병진단을 목적으로 랩온어칩 형태로 제작되는 것이 일반적이며, 기존의 랩온어칩 형태의 나노구조체 센서는 유체 흐름이 센서의 반도체 기판과 평행방향으로 형성되며 반응 시간이 많이 소요되고 수용물질과 반응하는 표적물질의 절대량이 제한적이어서 반응 감도가 떨어지는 문제점이 있습니다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 블록단위로 형성 된 복수 개의 단위센서를 에스(S)자 형태로 된 하나의 미세유체채널로 연결시킴으로써 동시에 다중 감지가 가능 하며, 감지시간이 줄어드는 나노부유구조의 다중센서를 제안합니다.

본 기술은 표적물질을 물리적으로 포획하고, 이차적으로 수용물질에 의해 표적물질을 화학적으로 포획함으로써, 반응하는 기회가 늘어나 감도가 향상되고 감지 시간이 짧아지며, 동시에 극소량의 표적물질도 감지할 수 있는 획기적인 기술입니다.

Key Features:
  • 실리콘 기판 상부에 소스 및 드레인 배열의 사이에 하나 이상의 나노부유구조 채널을 형성
  • 표적물질을 포함하는 유체가 단위센서 내의 나노부유구조 채널에 대해 수직 방향으로 통과
  • 나노부유구조 채널에 고정된 수용물질에 의해 표적물질이 포획
  • 다중 수용물질을 각 단위 센서에 부착하여 단위 센서 들이 동시에 해당된 표적물질을 감지 가능

본 기술은 한국연구재단의 실리콘 인터포저와 칩 적층 기법을 이용한 3D IC SIP용 차세대 저전력 초고속 인터커넥트 회로 및 융합설계에 관한 연구과제 지원을 통해 개발되었습니다.

가격은 개별 문의시 알려드립니다.

포항공과대학교 산학협력단
이정수 | 박찬오 | 김동훈 | 진보
문서
출원일:
2016-08-16
|
특허등록번호:
10-1838966
산업
반도체•장비
헬스케어•제약
기술
광학•센서
반도체
국가
Korea
패밀리 특허

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