본 기술은 기판, 전극, 그리고 알루미늄이 도핑된 산화주석 나노물질로 이루어진 센싱층으로 구성된 황화수소 가스 센서와 그 제조방법입니다. 산화주석과 알루미늄의 중량비 1:0.16~1:0.33, 입자 크기 3~30nm로 설계된 나노물질이 감지 소재로 쓰입니다.
황화수소는 황산 제조, 염료·화장품 제조 공정 등에서 발생하며 미량으로도 독성, 부식성, 폭발성이 강하고 고농도 노출 시 의식불명과 뇌손상까지 유발합니다. 그러나 기존 가스 센서는 습도 변화에 따라 검출 성능이 저하되어 다양한 환경에서 안정적으로 감지하기 어려운 한계가 존재했습니다.
본 기술은 수열합성과 2단계 하소로 얻은 알루미늄 도핑 산화주석 나노물질을 전극 위에 증착하여 비표면적을 크게 늘린 센싱층을 형성합니다. 이에 따라 고감도 검출이 가능하고 다양한 습도 조건에서도 감지 능력이 유지됩니다. 화학·제조 공장의 유해가스 모니터링과 작업장 안전 경보 장치에 적용될 수 있어 습한 산업 현장에서도 오경보 없이 작업자 안전을 확보할 수 있습니다.
본 발명은 과학기술정보통신부의 극한물성 소재-초고부가 부품 KIURI 연구단 지원을 통해 개발되었습니다.
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