본 기술은 PDMS 마스터 몰드를 제작한 뒤 플라즈마 처리로 표면 작용기를 OH기로 전환하고, 이어 알코올 처리로 OH기를 부동화하여 이중주조 시 PDMS 용액과 반응하지 않는 마스터 몰드를 제조하는 방법입니다.
PDMS 이중주조는 미세유체 칩과 bioMEMS 제작에 널리 쓰이지만, 액상 PDMS가 이미 경화된 마스터 몰드와 열역학적으로 상호작용하여 두 탄성체가 서로 달라붙는 문제가 있었습니다. 또한 교차결합되지 않은 저분자 실록산이 표면으로 이동해 2차 주조 시 반응하므로 별도의 단분자 코팅 공정이 필요하다는 번거로움이 있었습니다.
본 기술은 플라즈마와 에탄올·메탄올 처리만으로 반응성 작용기를 제거하고 내부 잔류 프리폴리머까지 침출시켜 이형성이 우수한 마스터 몰드를 구현합니다. 높은 종횡비와 3차원 미세구조를 가진 대상체도 정밀하게 복제할 수 있습니다. 미세유체 칩, 바이오 MEMS, 미세패턴 소자 제작 공정에 적용될 수 있어 별도 코팅 없이 간단한 표면처리만으로 반복 주조 품질을 확보할 수 있습니다.
본 발명은 과학기술정보통신부의 미세자극 조절이 가능한 정소 오가노이드 기반 융합 플랫폼 개발 지원을 통해 개발되었습니다.
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