본 기술은 OLED 발광층 증착에 쓰이는 고정세 섀도우 마스크와 그 제조 방법입니다. 개구부가 형성된 유리 기판 위에 탄소나노튜브 얀 메시층과 용액 공정 탄소나노튜브 박막층으로 이루어진 마스크 패턴층을 두는 구조입니다.
VR·AR용 고해상도 OLED 패널에는 UHD급 이상이면서 1m×1m 이상인 대면적 섀도우 마스크가 필요했습니다. 기존 SUS 기반 마스크는 대면적화 시 내부 응력과 인장 강도 저하로 휘어짐이 발생했고, 습식 식각 공정 특성상 1200dpi 이상의 고정세 패턴을 구현하기 어려운 문제가 있었습니다.
본 기술은 탄소나노튜브 층으로 마스크의 내부 응력을 줄이고 인장 강도를 높이며, 사진공정이나 리프트 오프로 패턴을 형성해 미세 해상도를 확보합니다. 필요 시 인바 등의 금속박막층과 크롬 식각 방지층을 더해 내구성을 보강합니다. 대형 OLED 및 마이크로 OLED 디스플레이 증착 공정에 적용될 수 있어 패널이 커져도 처짐 없는 고해상도 화소 패터닝을 가능하게 합니다.
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