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IBL-26-0133

전기적 특성과 질량변화를 동시에 측정하는 수정 진동자 미세 저울 센서

등록일
2026-03-25
전기특성·질량 동시 측정 QCM 센서 기술

본 기술은 수정 진동자 미세저울(QCM)을 기반으로 전기적 특성과 질량 변화를 동시에 실시간 측정하는 센서 기술입니다.

기존 센서는 저항 변화와 질량 변화를 별도의 장치로 측정해야 하므로 분석 정확성과 운용 효율이 떨어지는 문제가 있었습니다. 이에 본 기술은 하나의 수정 진동자 구조에 전극을 구성하여 두 물성을 동시에 계측할 수 있도록 합니다.

이에 따라 가스 감지나 표면 반응 분석에서 복합 정보를 동시에 취득할 수 있어 센서 측정의 정확도와 분석 효율을 높일 수 있습니다.




Key Features:

  • 수정 진동자 기반 단일 장치에서 질량 변화와 전기 특성 변화를 동시에 측정함
  • 전극 구조 설계를 통해 실시간 복합 계측이 가능함
  • 가스 센서 및 표면 반응 모니터링 정확도 향상에 유리함


포항공과대학교 산학협력단
전상민, 임창용, 윤민혁, 정남철
문서
출원일:
2012-05-29
|
특허등록번호:
10-1355371
산업
전자부품
헬스케어•제약
화학
기술
광학•센서
전기전자공학
의료기기
국가
Korea
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