열 분포 활용 마이크로파 근접장 고해상도 영상화 현미경
본 기술은 마이크로파 근접장 영상화 현미경에 관한 것으로, 빛을 원편광시켜 조사 대상에 입사하고, 반사된 빛을 분석하여, 인디케이터를 이용하여 광학적으로 열의 분포를 영상화할 수 있다.
고주파 대역의 광역통신 시스템에 대한 수요가 급증하고 있어 마이크로파 소자를 검증하고 조사하기 위한 기술이 요구되고 있지만, 기존 기술은 측정 시간이 길고, 측정을 위한 probe를 설계하는 것이 어려운 단점이 있었다.
본 기술을 통해 인디케이터를 이용하여 광학적으로 마이크로파 근접장에 의해 발생하는 열의 분포를 영상화함으로써 마이크로파 근접장을 영상화 현미경을 제공하여 소자의 구동 방식을 조사하고, 소자의 신뢰성을 검증할 수 있다.
Key Features:
- 마이크로파 근접장이 특정 물질에서 열을 발생시키는 '근접장 가열 현상'과, 물질이 열을 받으면 내부 응력이 변하고 빛의 편광 상태를 바꾸는 '광탄성 효과'를 결합
- 광탄성 효과가 좋은 유리 기판 위에, 마이크로파 전기장을 감지할 때는 유전 손실이 큰 폴리머 등을, 자기장을 감지할 때는 자기 손실이 큰 자성체 박막 등을 증착하여 인디케이터를 만듦
- 반사된 빛을 분광기로 45도와 90도 방향으로 분광하여 각각의 밝기 변화를 CCD 카메라로 측정
- 고가의 특수 물질이나 외부 자기장, 복잡한 신호 동기화 기술이 필요 없어 제작이 용이하고 경제적이며, 광학 기반 방식이므로 광학 회절 한계 수준의 높은 공간 분해능과 빠른 측정 속도를 가짐
